サムスン電子とオランダのASMLが提携、1兆ウォン投資し韓国にR&Dセンターを設立＝韓国報道

サムスン電子とオランダの半導体製造装置メーカーASMLは12日（現地時間）、韓国に次世代半導体製造技術の研究開発（R＆D）センターを設立するため、覚書（MOU）を締結したと発表した。これにより両社は2024年から1兆ウォン（約1105億1990万円）を共同投資し、韓国に次世代半導体製造技術のR&Dセンターを設立、運営する。ここでは次世代極端紫外線（EUV）を使った超微細加工技術を共同開発するという。

ファウンドリー（半導体の受託製造）世界最大手の台湾積体電路製造（TSMC）を超えるため、サムスン電子にとってEUV設備の確保は最優先課題となる。これと関連し業界の関係者は「ASMLは来年末、高NA（開口数） EUV設備「ツインスキャンEXE：5200」を提供開始する予定。ファウンドリー業界では、この新型設備の確保に向けた競争が激化するだろう」と展望した。

サムスン電子は2025年に回路線幅2ナノメートルプロセス、2027年に1.4ナノメートルプロセスの半導体を、それぞれ生産する計画だ。

韓国大統領室の関係者は、今回のR&Dセンター設立について「ASMLが、半導体メーカーと共に海外で初めて設立するR&Dセンターとして、象徴的な意味が大きい。韓国政府としては設立から運営まで、全面的に支援する」と話した。